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    超高真空磁控濺射鍍膜機

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    • 型號
    • 品牌
    • 所在地深圳市
    • 更新時間2023-01-14
    • 廠商性質其他
    • 所在地區深圳市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量73
    • 人氣值969
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    深圳海創德科技有限公司成立于2012年,由數位理工科博士創辦,團隊成員均為理工科博士和碩士,具有高水平的專業水準。公司致力于半導體微加工及分析設備的銷售和安裝服務,產品覆蓋薄膜制備,物性測量和表面分析。經營的主要產品如下:1. 磁控濺射、電子束蒸發、熱蒸發、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂膠機和熱板等薄膜技術相關的設備;2. 美國Kimball Physics的電子槍、離子槍、真空腔體和熒光屏等部件;美國OCI的LEED和AES等各種真空組件;美國MicroXact的真空、低溫和磁場等數種探針臺;3. 我們還提供上述設備的配套部件及耗材,如直流和射頻電源、靶材、探針、光刻膠和ALD耗材等。我們的產品性價比高,品質精良,性能*,在歐美及中國臺灣地區具有的口碑,國內眾多的科研院所和大學均對我們的產品報以好評。我們期待以優質的產品,良好的服務和專業的技術為更多的客戶提供解決方案!期待與您的合作!
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    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件,本底真空可達到10-9~10-10Torr量級
    超高真空磁控濺射鍍膜機 產品詳情

    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件,本底真空可達到10-9 ~ 10-10 Torr量級。在超高真空環境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯,廣泛適用于超導結、量子器件和自旋電子學的研究開發。


    技術參數:

    1 本底真空可達10-9 ~ 10-10 Torr;

    2 單基片設計,尺寸可定制;

    3 基片可旋轉并加熱:300℃/500℃/800℃;

    4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍,共濺射;

    5 靶槍角度可調,濺鍍距離可調,可升級強磁靶;

    6 防交叉污染隔板設計;

    7 可配備離子束輔助沉積;

    8 可配備樣品預清洗功能;

    9 可配備快速進樣室;

    10 可配備自動壓力控制系統;

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