系統依據的相關標準:
GB/T 26250-2010 電子工業用氣休
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。該產品以GC-126氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產的氦離子化（PDHID）檢測器；采用克柔姆公司擁有專業技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個復雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統的密閉性、系統的死體積等環節，克柔姆色譜公司總結了高純氣體分析過程中的技術難點，并給出了所有難點的解決措施，使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為工業氣體行業的高純氣體分析系統，很好的完成了氣體中微量雜質，特別是ppb級的雜質的分析。
Items/檢測項目一： N 2 ≤ 0.20ppm， O 2≤ 0.02 ppm ， Ar≤ 0.02 ppmv ，SiH 4≤ 0.02ppmv;
CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ，H2S ≤ 0.0 3 ppmv ， C1～C2≤ 0.0 5 ppmv ，
GeH4(鍺烷)、 SiH4(硅烷)、 PH3(磷烷)、H2S
進樣與反吹系統: 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥3只;
閥體選:采用VICI 316L不銹鋼材質； 氣路管線: 1/16或1/8采用VICI 316L材質
儀器主要應用于6N砷烷氣體中微量雜質的分析，具體內容詳見下表：
氣體種類 | 需分析特氣的雜質種類 | |||||||
He | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2S | C2、SiH4、 PH3、GeH4、Ge2H6、C3、C4 |
儀器的最小 檢測限（PPb） | 5 | 5 | 5 | 5 | 15 | 5 | 20-30 | 5-10 |
