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    • nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

    nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2022-08-16
    • 廠商性質其他
    • 所在地區上海
    • 實名認證已認證
    • 產品數量100
    • 人氣值1014
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    本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷
    nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統 產品詳情
    本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
    nSpec LS是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。
    1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
    ·基板,外延和圖案化晶圓
    ·透明和不透明的材料
    ·在膠片膠帶,托盤,凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
    ·光罩
    ·樣品碎片
    2. 系統
    ·多種分辨率設置,范圍從0.25 µm及更高
    ·快速掃描
    ·可定制的缺陷報告
    ·各種樣品夾頭可滿足特定需求
    ·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
    ·檢查和審查程序
    ·多系統同步
    ·占地面積小,設施要求zui少
    ·機架安裝控件
    3. 系統參數
    重量:318 kg
    外觀尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
    zui小氣壓:24 in. Hg (70 kPa)
    電源:110v/220v, 3.5 amps
    光學器件:
    照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
    光源:白光LED(也可選其他)
    物鏡倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用戶可選
    工作臺:
    典型行程:200 mm,X和Y方向
    定位:帶有閉環編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
    重復性:+/- 0.5 µm

    行程平整度:30 µm

    結構:精密地面滾道和交叉滾子軸承
    支撐平臺:顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
    中心負載能力:2.27 kg
    重量:11.33 kg
    尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
    備選功能:
    AFM原子力顯微鏡:可根據要求提供規格
    SECS/GEM
    透射光
    自動傳送晶圓片

    如果您想了解關于這套型號為nSpec LS的晶圓缺陷檢測光學系統更多的信息,請聯系我們。

    關鍵詞:顯微鏡
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