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WSHD-600型晶圓均勻加熱裝置
關鍵詞：晶圓，均勻，6寸
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形；晶圓高溫測試是集成電路行業(yè)一道重要制程，通過嚴格的高溫測試可以預先剔除不良芯片，降低后續(xù)高昂的封裝成本。WSHD-600型晶圓均勻加熱裝置是一種特殊設計的均勻加熱裝置。為保證晶圓高溫測試精度，要求整個吸盤表面各點的溫度控制在設定溫度±1℃的范圍內(nèi)，Z大可以達到±0.03℃，是目前研究晶圓半導體重要輔助工具。
主要技術參數(shù);
1、溫度：室溫-200℃，650℃，1000℃，
2、加熱速率：40℃/min,
3、加熱臺尺寸：6寸，8寸，12寸等可以定制
4、控溫精度：±1 ℃
5、加熱溫度均勻度允許誤差：±1℃
6、加熱臺需可抗壓：100KN
7、可配合各種電學測試設備進行電學數(shù)據(jù)功能采集
8、表面處理：鍍膜，鍍金或是黑礬石
9、熱臺材質：不銹鋼或銅
10、可以配合各種電學測試系統(tǒng)及探針測試
6寸晶圓在不同溫度下均勻性
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 水庫的沉降位移如何監(jiān)測 | ￥9800 | 濰坊市 | 山東博科儀器有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
| 傾角加速度監(jiān)測站 | ￥3200 | 濰坊市 | 山東風途物聯(lián)網(wǎng)科技有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
| 禪思S1和禪思V1 多種照明模式和喊話模式 | ￥5988 | 深圳市 | 深圳市鵬錦科技有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
| 導熱系數(shù)和熱擴散系數(shù)測定儀-激光閃光法 | ￥350000 | 上海市 | 上海誠衛(wèi)儀器科技有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
| 導熱系數(shù)和熱擴散系數(shù)測定儀-激光閃光法 | ￥430000 | 上海市 | 上海程斯智能科技有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
| 導熱系數(shù)和熱擴散系數(shù)測定儀-激光閃光法 | ￥800000 | 上海市 | 上海徽濤自動化設備有限公司 | 2025-08-13 | 在線詢價 |
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