微小流量高精度檢測系統氣體質量流量控制器 響應式氣體流量控制，抑制壓力波動
性能的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能快速實現穩定控制。
多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供*的質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
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微小流量高精度檢測系統氣體質量流量控制器
型號變體
低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
性能選項
流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準
