中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
產(chǎn)品功能
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高。
產(chǎn)品配置清單
標(biāo)準(zhǔn)配置
1)SuperView W1主機(jī)
2)影像系統(tǒng)：1024×1024
3)光學(xué)Zoom：0.5×
4)干涉物鏡：10×
5)XY位移載物臺：自動位移臺
6)DELL品牌計(jì)算機(jī)
7)4.7μm Z向校準(zhǔn)臺階塊
8)操縱手柄
9)中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件
10)自動多區(qū)域測量、自動拼接測量功能模塊
11)電氣控制柜
12)TGY30-680-30L無油空壓機(jī)
13)儀器工作臺
14)儀器配件箱
15)加壓充氣裝置一套
16)產(chǎn)品使用說明書
17)產(chǎn)品合格證、保修卡
可選配置
1）干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×
2）光學(xué)zoom：0.75×、1×；
3）真空吸附臺（尺寸可定制）：4寸、6寸;
4）5孔電動物鏡轉(zhuǎn)盤；
5）隔振外殼（1043㎜×1120㎜×1630㎜）
