固態(tài)微波遠(yuǎn)程等離子體源

自成立以來，沃特塞恩持續(xù)開發(fā)了覆蓋ISM頻段的全系列固態(tài)功率源產(chǎn)品，以不斷迭代升級的高性能產(chǎn)品工業(yè)領(lǐng)域固態(tài)功率源產(chǎn)品市場的空白。在持續(xù)深耕ISM領(lǐng)域應(yīng)用的過程中，沃特塞恩聯(lián)合公司旗下?lián)碛胸S富等離子體技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗的紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司，開發(fā)了基于固態(tài)微波源的微波等離子體化學(xué)氣象沉積（MPCVD）裝備、遠(yuǎn)程等離子設(shè)備（RPS），賦能高品質(zhì)碳材料制備產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體材料刻蝕和清洗等產(chǎn)業(yè)并實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。目前沃特塞恩產(chǎn)品已實現(xiàn)多產(chǎn)業(yè)應(yīng)用布局，涉足應(yīng)用包括材料制備，等離子體光源，半導(dǎo)體干法刻蝕、去膠設(shè)備，半導(dǎo)體清洗、工業(yè)微波化工、冶煉、加熱、干燥，射頻解凍，腫瘤微波消融、熱療和理療、等離子體美容等醫(yī)療設(shè)備、以及科研和醫(yī)療粒子加速器、ECR離子源等應(yīng)用。沃特塞恩團(tuán)隊始終堅持以科技創(chuàng)新為主的發(fā)展方向，不斷加強(qiáng)產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新、夯實生產(chǎn)管理能力、嚴(yán)格把控產(chǎn)品質(zhì)量，立志做的產(chǎn)品，創(chuàng)的品牌，成為值得客戶托付信賴的合作伙伴！