設備主要配置：
| 性能指標 | PR02/PD03 | BR15/BM15&BD30/MC30 |
| 性能 | 前級泵內置式 | 前級泵外置式及小車 |
| 前級泵 油式機械泵 | DS-42 2 m3/hr（34l/m） | DS-302 14 m3/hr（232l/m） |
| 渦旋式干泵 | Dry pump combo -2 m3/hr（34l/m） | TS-620 30 m3/h（500l/m） |
| 可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 | 5x10-12 atm cc/sec： 5x10-12 mbar l/s：5x10-13 Pa m3/mec helium | |
| 測試口高耐壓 | 13mbar，10Torr，1330Pa | |
| 測試口處對氦氣抽速 | 1.8l/s | |
| 校準程序 | 自動或手動（內置或外置） | |
| 氦本底清零 | 按鍵清零，并具有零點追蹤功能 | |
| 操作界面 | 高清晰彩屏，TFT觸摸屏 | |
| 語言選擇 | 中文、英文、法文、德文、日文、韓文、西班牙文 | |
| 循環檢測 | 可編程粗抽時間/檢測時間，設置報廢點 | |
| 響應時間 | ＜0.5s | |
| 設定點 | 標準：5個設定點；常開或常閉：3個漏率點；1個壓強點；1個聲語點 | |
| 串行接口 | RS-232繼電器輸出接口，9600 波特 （DB-9S） | |
| 繼電器式 l/O 輸出 | 繼電器輸出，5-24伏直流輸出與輸入（DB-25S） | |
| 無線遙控器（選購件） | 2.4GHz ISM頻段， 100米（328英尺）范圍，4節AA電池或5伏直流電源 | |
