一、 概述
背壓檢漏法是在氦質譜檢漏法中應用較廣泛的方法之一，它主要用于封離電子器件、半導體器件和具有內空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。
A601氦氣氟油加壓儀可以用于元器件進行氦質譜檢漏前的氦氣加壓，也可將元器件置于輕氟油中做氟油檢漏前的加壓。做氦質譜檢測時示蹤氣體為氦氣，進行氟油檢漏時示蹤物質是輕氟油。
二、 主要技術指標
允許充壓： ≤0.6MPa
壓力容器尺寸： Ф200×150㎜/Ф312×250 ㎜
容器真空壓力： ≤50Pa
壓力范圍：0.2-0.6MPa
電源功率： 220V 400W
三、使用條件
設備使用之前需準備滿足實驗需要的氮氣、氦氣和輕氟油(F113)
四、 設備功能
采用PLC 控制，全自動操作
觸摸屏操作，設備各元件工作狀態均可顯示，壓力和時間可設置，操作便捷直觀
油位顯示，具備過濾功能
可有效防止誤操作和提高檢漏效率
壓力罐配有光電檢測設備，可隨時監測壓力罐內的油位
真空系統可選配干式真空泵
五、配置清單
序號 | 名稱 | 規格 | 數量 |
1 | 壓力容器 | Φ150x200mm Ф312×250mm | 2 個 |
2 | 樣品提籃 | 2 個 | |
3 | 輕氟油儲罐 | Φ150x200mm | 1 個 |
4 | 機械泵 | 4L/S | 1 臺 |
