美國Aera FC-7700系列質(zhì)量流量計(jì)
優(yōu)點(diǎn)：
高性價(jià)比
響應(yīng)速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許清洗流量：高達(dá)校準(zhǔn)值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700氣體質(zhì)量流量計(jì)的詳細(xì)資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實(shí)踐驗(yàn)證的適用多種應(yīng)用的場合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，該流量計(jì)采用非金屬密封，流量控制精確，性價(jià)比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導(dǎo)體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設(shè)備工程師設(shè)計(jì)，同時(shí)，該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應(yīng)用領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價(jià)比高：
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應(yīng)用而定制，不僅性價(jià)比好，而且控制精度非常高。
響應(yīng)速度快：
FC-7700系列產(chǎn)品采用設(shè)計(jì)，工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其之處包括：采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比，F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后，避免了出現(xiàn)過沖，達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒。
的可靠性:
由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設(shè)計(jì)理念，這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場的干擾，滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求，并具有同類產(chǎn)品中的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
出眾的效果：
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。
型號參數(shù)：
類別 FC-7700、7700C、7700CD、7700CU FC-7710、7710C、7710CD、7710CU FC-7720、7720C、7720CD
滿量程范圍 10sccm到5slm 6到20slm 35到150slm、20到50slm
響應(yīng)時(shí)間 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒
精度 滿量程±1%范圍內(nèi) 滿量程±2%范圍內(nèi)
線性度 滿量程±0.5%范圍內(nèi) 滿量程±0.5%范圍內(nèi) 滿量程±1%范圍內(nèi)
滿量程±1%范圍內(nèi)
重復(fù)精度 滿量程±0.2%范圍內(nèi)
漏率 值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制范圍 滿量程的5到99%
壓差 7至40 psi 10至40 psi(517至2069托) 21至40 psi(1086至2069托)
(362至2069托) 14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力 50 psi(2586托)
入口壓力 值150 psi(7740托)
溫度范圍 5至45℃
注：可根據(jù)不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
