從三個敏感選項中選擇，實現精確的高阻抗和低電流測量。5? 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量，以及低至 10fC 的電荷測量。6? 位 6430 型亞 fA 遠程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學應用。
特點 | 優勢 |
| 超低噪聲（6430 為 0.4fAp-p，6517B 和 6514<> | 確保對設備和材料研究中常見的超低電流實現更精確的測量。 |
| 高達 1016? 的電阻測量 (6517B) | 精確測量超高電阻材料和絕緣體。 |
| 遠程預放大器可以位于信號源 (6430) | 允許直接或短暫連接到信號源，較大限度地減少電纜噪聲等噪聲源。 |
| 低輸入端壓降 | 消除影響低電流測量精度的誤差。 |
| 內置 ±1kV 電壓源，提供掃描功能 (6517B) | 簡化了執行泄漏、擊穿和電阻測試，以及對高電阻率材料執行體積 (?-cm) 和表面電阻率 (?/square) 測量的過程。 |
| 適用于測量試樣材料的體積和表面電阻的選配 8009 型電阻率測試盒 (6517B) | 防止您接觸潛在危險電壓 — 打開測試盒蓋子時自動關閉儀器的電壓源。 |
| 即使在低電平信號上也能實現高測量速度 | 支持更快的低電平元器件測試。 |
| 可編程數字 I/O 和內置接口 | 簡化構建自動化元器件測試系統的過程。 |
| 型號 | 電流 | 電阻 | 充電 | 源 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 6514 | 100aA - 20mA | 10m? - 200G? | 10fC - 20μC | - | |
| 6517B | 10aA - 20mA | 100? - 10P? | 10fC - 2μC | 0 - ±1000V | |
| 6430 | 10aA - 100mA | 1µ? - >20T? | - | 0 - ±200V | |
