氣體質量流量計的原理：
質量流量計(Thermal Mass Flowmeters，簡稱TMF)在國內習稱量熱式氣體流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復性和高可靠性;無可動部件以及可用于極低氣體流量監測和控制等特點. 利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測量流體的質量流量已有很長的歷史。早期的TMF直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問題，使它的工業應用受很大的限制。托馬斯流量計是這種流量計的代表，主要用來測量較大流量的氣體質量流量;到20世紀50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結果易受介質參數(如導熱系數、比熱容、粘度等)的影響，可以用來測量較大的液體流量;到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由于其*的優點在國內外得到了很快的發展，用來測量氣體的微小流量，隨著科技的發展，經過對流量計結構上的重新設計，在接觸式流量計的基礎上，人們提出了一種浸人型的TMF，也得到了很快的發展，可以用來測量較大管徑的氣體流量。綜上所述，TMF是一種主要用來測量氣體質量流量的直接式質量流量計。
氣體質量流量計的技術參數：
01)輸出：瞬時流量 4-20mA DC 大負載600Ω,RS232,RS485
02)準確度：±1％的讀數；±0.5％滿量程
03)重復性：±0.5％的滿量程
04)測量范圍：（0.05～80）Nm/s（標準狀態為20℃，101.33KPa）
05)測量介質：除乙炔氣外的潔凈氣體
06)溫度范圍：
環境溫度：-40℃～+60℃
介質溫度：-10℃～+200℃
07)響應速度：小于1S
08)供電電壓：24VDC±10%
09)機械連接：3/4 NPT不銹鋼緊固件
10)探桿長度：800mm（此長度為標準長度，特殊請聲明）
11)探桿直徑：18mm
12)壓力損失：可以忽略
13)工作壓力：1.6MPa
14)數據保護: 累計量保存在EEROM內，（斷電可保存百年）
15)防護等級：IP65
16)變送單元：選擇防爆封裝。
17)現場顯示：（LED）上排為瞬時流量每行4個字符，下排為累積流量每行8個字符，可以按英制或公制單位顯示流量、累積流量。
18)直管段長度：無嚴格要求
19)傳感器及管線表體材料:316L（可選哈氏合金C）
