一、氣體質量流量控制器原理
uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩大定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難”的問題。而 uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩定,安全性更好。在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用 MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是 70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
二、氣體質量流量控制器技術參數 采用關鍵矽微機械加工技術的 MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。三、 氣體質量流量控制器技術參數
2.1 測量介質：空氣，氮氣，二氧化碳，氬氣，氧氣，氫氣，氦氣
2.2 流量范圍： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態 20℃，101.325kPa。
(c)每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定
2.3 允許誤差：±1.5%FS
2.4 精度保證溫度：15-35℃；
2.5 工作壓力范圍：
MFM:工作壓力≦1MPa 耐壓：3MPa
MFC：工作壓差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐壓：3MPa
2.6 供電電源：24VDC
2.7 輸入信號：0-5VDC, RS485通訊
2.8 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.9 環境溫度：5-45℃；
顯示位數：瞬時流量為 6位，累積流量 8位。
