三豐MitutoyoCS-H5000CNC表面粗糙度儀
產品特點：?高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。
?X1軸和Z2軸的*大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。
?X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
?Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。
?Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。
?CS-5000CNC帶有a軸，可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。
?帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
?可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現雙向通信(RS-232C)。
三豐MitutoyoCS-H5000CNC表面粗糙度儀
技術參數：
貨號 CS-5000CNC CS-H5000CNC X1 軸 測量范圍 200mm 分辨力 0.00625µm 長度基準 激光全息測微計 驅動速度 CNC型 *大40mm/s 操縱桿 0 - 40mm/s 測量速度 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) 測量方向 向前/ 向后 直線度 (使用標準測針) (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) (0.05+0.0003L)µm L: 驅動長度 (mm) (使用二倍長型測針) (0.2+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) 精度 (20oC) ±(0.3+0.002L)µm L: 驅動長度 (mm) ±(0.16+0.001L)µm L: 驅動長度 (mm) Z1 軸 (檢出器) 測量范圍 (使用標準測針) 12mm 12µm (使用二倍長型測針) 24mm 24µm 分辨力 (使用標準測針) 0.004 µm 0.001 µm (使用二倍長型測針) 0.008 µm 0.002 µm 測針針尖垂直運動 弧形移動 長度基準 激光全息測微計 精度 (20oC) (20oC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) ±(0.07+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) 測力 (使用標準測針) 4mN (固定) (使用二倍長型測針) 0.75mN(固定) 跟蹤角度 向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度) 測針針尖形狀 標準測針 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 標準球頭測針 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針 2倍測針 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 2倍測針 - 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 2倍球頭測針 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 測針方向 向下 Z2 軸 (立柱) 行程范圍 Z2 軸 (立柱, S 型) 300mm Z2 軸 (立柱, H 型) 500mm- 分辨力 0.05µm 長度基準 反射型線性編碼器 驅動速度 CNC型 *大200mm/s 操縱桿 0 - 50mm/s 基座尺寸 (W×D) 750×600mm
