設備：小型等離子清洗機 ATTO
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產品功能：
清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。 如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。 如：PDMS鍵合，粘接前的預處理，涂裝前的預處理，印刷前的預處理。
涂層：使工藝部件表面發生等離子聚合反應，前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發生聚合反應，形成聚合物層。 如：疏水層，親水層，保護/阻隔層，干潤滑層，疏油層。
具體應用：
• 小批量生產
• 分析（REM,TEM）
• 醫療技術
• 滅菌
• 研究和開發部門
• 考古
• 紡織技術
• 塑料技術
| 主要技術參數 | 1. 手動控制 2. *根據工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量等參數 3. 雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量控制 4. 反應艙為高硼硅玻璃，Φ 211 mm、長 300 mm，容積10.5L 5. 發生器頻率13.56MHz功率0~300W 6. 反射波自動調節，無須手工調節 7. 電極材質為鋁/不銹鋼 8. 運行模式為手動 9. 真空泵的排氣能力為8.0m3/Hour，國產飛越真空泵 10. *配有壓力傳感器，可根據工藝要求設定壓力值 11. 外尺寸：寬 425 mm、高 275 mm、深 450 mm 12. 電源電壓：單相AC230V 16A |
選配：
PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE)/ PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
氣體：
MFC氣體流量計
真空腔材質：
石英
托盤：
鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英
發生器：
40KHz0-200W
其他：
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