益處
- 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
- 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設(shè)定點
- 輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準
- 合規(guī)性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
- 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
- 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
規(guī)格
| 類型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.4 |
| 溫度效應(yīng) | ||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 | 0.02 |
| 壓力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||
| 運行（周圍環(huán)境）（5） | °C | +10 … +50 | ||
| 在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –20 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加熱時 | W | ≤20 | ≤15 | ≤15 |
| 運行溫度 | W | ≤14 | ≤10 | ≤10 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應(yīng)時間 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
| 保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 標準 | ||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) (5) | SEMI S2 | |||
| 加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計 | ||||
