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高溫循環裝置 加熱溫度控制器
TEX-25A
氟作為專用熱媒、控制循環裝置加熱溫度
主要用途
●半導體制造裝置的加熱溫度控制
●化學制品的生產系統加熱溫度控制
主要特點
氟作為專用熱媒，控制高溫度領域
氟作為熱媒介專用設計，可在＋70℃～＋
無液漏之憂的泵，通過逆變器進行控制
使用了磁鐵耦合型密封泵，無液體泄漏。
可短時間內降溫
冷卻線圈中一次冷卻水在循環時，維修保養時可在短時間降低溫度。
技術參數
| 型號 | TEX-25A |
| 使用溫度范圍 | +70℃～+200℃ |
| 溫度調節精度 | PID控制、±2.0℃(*1) |
| 功率輸出 | 2.5kW |
| 泵能力 | 流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時) 功率輸出：0.75kW |
| 升溫／降溫時間 | 升溫時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷卻水OFF) 降溫時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷卻水ON) 冷卻水條件：約8L/min at +20℃(*2) |
| 安全器/安全功能 | 漏電斷路器、高溫、溫度異常、防止空燒、液面上限、泵超負荷 |
| 輸入/輸出功能 | 遠程信號輸入、加熱器ON/OFF輸入、冷卻水ON/OFF輸入、溫度監視器信號輸出、安全器操作信號外部輸出 |
| 適用熱媒體(循環液) | GALDEN HT270 |
| 循環液罐容量 | 約3L(＋備用罐：約7L) |
| 配管連接口徑(循環液出入口、一次冷卻水出入口) | Rc1/2、Rc1/2 |
| 外形尺寸 | 405×692×811Hmm |
| 重量 | 約80kg |
| 電源 | 三相AC200V?50/60Hz?15A |
| 運轉電流 | 12A |
(*2)裝置單體無負荷情況下。
●本產品使用環境溫度范圍為+
●本機為大型、重量機器，運送、安裝等費用需另付。
