Tem-Tech Lab高精度壓力計(jì)于生產(chǎn)用氣體供給裝置高壓范圍
Tem-Tech Lab高精度壓力計(jì)
●隔膜材為耐腐蝕性高的哈氏合金C-22
●表壓、級(jí)聯(lián)壓均可制作
●減低了熱膨脹應(yīng)變、提高了溫度安定性
●直線性為±0.3%FS的高精度
●內(nèi)表面經(jīng)EP處理為『超清潔」規(guī)格
●標(biāo)準(zhǔn)的傳輸信號(hào)為國際規(guī)格的2式4-20mA也可電壓輸出
●可制作顯示器一體型
●可在安裝現(xiàn)場做零調(diào)整
●沒有充填液的干性傳感器、安全度更高
●能對(duì)應(yīng)35Mpa的高壓范圍
主要規(guī)格
用途 ：半導(dǎo)體生產(chǎn)氣體用（室內(nèi)規(guī)格）
額 定 壓 力 0 (或-0.1) — 0.5、 1、 2、 3.5、 20、 25、 35 MPa 允 許 限 度 壓 力 20MPa 未滿額定壓力×2 倍、20MPa 以上額定壓力×1.5 倍 精 度 ±0.3％FS（含直線性?滯后?再生性） 輸 出 信 號(hào) 4—20mA 2-wire 1-5V 3-wire 駆 動(dòng) 電 源 DC24V ±10％ 溫 度 補(bǔ) 償 範(fàn) 囲 0—60℃ 動(dòng) 作 溫 度 範(fàn) 囲 0—80℃ 溫 度 特 性 ±0.05％FS／℃（溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)） 接 液 部 材 質(zhì) 隔膜: 哈氏合金（C-22) 傳感器身 SUS316L 焊 接 方 法 特殊電子光束焊接泄 漏 量 <5×10-12Pam3／sec 內(nèi) 面 清 潔 度 電解拋光處理 Ra: <0.25μm 以下、超清潔（UC）處理應(yīng) 用 接 續(xù) VCR、UJR （其他可相談） 接 頭 直 徑 1/4”、 3/8”、 1/2” （其他可相談） 信 號(hào) 連 接 螺絲式連接、直接電纜、卡口連接器（其他可相談） 附 屬 電 纜 3m 標(biāo)準(zhǔn)
