AX10FD微小氣體流量計 AX10FD低耐壓型質量流量計 AX10FD氣體流量控制器
AX10FD采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。
顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內容：氣體選擇、單位選擇、量程設定，報警點設定，閥門狀態、自動校準等。
與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，AX10FD沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
產品應用
產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,***及各種分析儀器等。
產品特點
● 普通低壓型，適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體
● 無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩定性0.1%F.S/年
● 準確度0.8%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定
● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出
● 無需預熱，測量時無響應滯后
● 內置31種氣體轉換系數，無比熱容附加誤差，不影響精度
● 自動累計，分段累計功能
技術指標 AX10FD質量流量控制器 AX10FD質量流量計
量程范圍 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
控制范圍 控制器50：1 流量計100：1
準 確 度 流量：±0.8%讀數±0.2%滿量程
可選±0.4%讀數±0.2%滿量程
壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
線 性 ±0.5%F.S
重復精度 ±0.2%F.S
響應時間 100ms 10ms
數 字 量 RS232/485，MODBUS協議
模 擬 量 0～5V、4～20mA、1～5V
供電 12V/24V/±15V可選
工作溫度 0～50℃
工作壓力 工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓 1MPa
電氣連接 DB15孔
漏 率 1×10-9SccsHe
溫度系數 ±0.015%F.S/℃
底座材質 316L
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6
