潔凈氮氣柜

潔凈氮氣柜

★潔凈氮氣柜產品說明：

● 控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。

● 100級高潔凈過濾器FFU采用美國等進口品牌。

● *離心風機采用德國等。

● 采用可選配高品質靜電消除裝置。

● 對氮氣進行前期潔凈預處理。

● 采用雙數顯式控制器，對箱內濕度或含氧量進行顯示和控制（二選一）。設備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風。

● 設備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控制,高潔凈過濾器受阻等多個系統.

● 控制儀可選配置進行溫濕度含氮量數據的實時顯示,輸出和報警功能。

● 模組化設計：本機器采用*的模組化設計，溫濕度顯示器、控制系統、除塵系統及除靜電系統均能快速更換，保養及維修簡便，大大提升維護效率。

★產品應用：

● 適合半導體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設計都為全封閉環境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈氮氣柜則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵污染的物品.

★規格參數：

● 潔凈等級：Class 100

● 規格尺寸：W1310*D800*H1990mm

● 材    質：SUS304雙鏡面

● 潔凈等級：Class 100

● 除濕等級：5RH%以下

● 溫度精度：±1℃

● 濕度精度：±3%RH

● 層    數：3層

● 電    壓：220V 50Hz

★技術指標：

1）潔凈等級

專業高效潔凈過濾裝置，濾網采用進口超細玻璃纖維,確保潔凈柜內CLASS 100~1000級。   

2）TDH參數

即存放在潔凈柜內經過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標返顆粒的現象產生。  

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；

4) 進口無塵風機：采用進口無塵室專用FFU風機，面風速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值（選配）

潔凈氮氣柜內放置的硅片盒，經過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）風速均勻性

潔凈柜內有氮氣的*，可使用風速測定儀來檢測內部硅片放置各點的風速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監控，在潔凈柜在*關閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。