美國OMEGA氣體質(zhì)量與體積流量控制器產(chǎn)品描述
FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場中使用差壓原則來確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。
該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過一體化PID回路控制器控制流體。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊。可通過前面板鍵盤或RS232通訊調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。體積 流量、質(zhì)量流量、壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。同時(shí)，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，可與26臺設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通訊。
美國OMEGA氣體質(zhì)量與體積流量控制器規(guī)格:
精度: ±（讀數(shù)的0.8% + 滿量程的0.2%）
重復(fù)性: 滿量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制響應(yīng)時(shí)間: 100 ms
輸入控制信號: 0 ~ 5 Vdc, RS232
輸出信號: 0 ~ 5 Vdc, RS232
可選輸入/輸出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作溫度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零點(diǎn)偏移: 滿量程的0.02%/°C
量程偏移: 滿量程的0.02%/°C
濕度量程: 0 ~ 100% RH，無冷凝
附加流速: 滿量程的2.4%
接液材質(zhì)：303和302不銹鋼、氟橡膠、硅酮RTV（橡膠）、玻璃強(qiáng)化型尼龍、鋁、銅、410不銹鋼、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不銹鋼和鎳替換銅
壓力
質(zhì)量流量控制器: 145 psig
使用體積模式: 使用體積模式：近大氣，建議15 psig。
體積流量計(jì)和控制器不保證超出流量計(jì)額定流量范圍的質(zhì)量流速的準(zhǔn)確性。這些值僅適用于近大氣壓力條件。建議工作壓力為15 psig
額定壓差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
電源電流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常規(guī)）
電源電壓: 20 SLM及更小的設(shè)備12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的設(shè)備24 ~ 30 Vdc
電氣連接: 8針圓形迷你DIN
