產品名稱：
中國光電URE-2000B型光刻機
URE-2000B型紫外光刻機主要技術特點：
該機采用i線紫外曝光光源，光學系統采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術，采用積木錯位繩眼透鏡實現高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統（可同時使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。
技術參數：
1．技術參數
◆曝光面積：110mm×110mm
◆分辨力：0.8μm（膠厚2μm的正膠）
◆對準精度：±1μm
◆*焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
◆曝光波長：365nm
◆光源平行度：2?
◆掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm(可適應非標準片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
◆照明均勻性：±3%（f100mm范圍）
◆掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm; Y:±5mm;q:±6度
◆曝光能量密度：>18mW/cm
◆汞燈功率：1000W（直流）
◆曝光設定方式：定時（倒計時方式0.1s-999.9s任意設定）
◆外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬)?1850mm（高）
配置：
（1）曝光頭
◆ 冷光橢球鏡
◆ 1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
◆XYZ汞燈調節臺
◆光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風扇
（2）對準工件臺
◆掩模樣片整體運動臺
◆掩模樣片相對運動臺
◆轉動臺
◆樣片調平機構,自動完成
◆樣片自動調焦機構
◆承片臺4個（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
◆掩模抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡及CCD對準系統
◆光源、電源
◆雙目雙視場對準顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
◆CCD
◆21英寸液晶顯示器
（4）電控系統
◆汞燈觸發電源(1000W直流汞燈)
◆單片機控制系統
◆控制柜桌
（5）氣動系統
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
◆電磁閥驅動
◆氣動儀表
（6）其他附件
◆真空泵一臺（無油泵）
◆空壓機一臺（*泵）
◆管道
（7）技術資料
◆使用維修說明書
◆顯微鏡使用說明書
標簽: 紫外光刻機
