【12英寸】 SYSC-300高精度程控勻膠機(jī) 旋涂儀 Spin Coater
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-300系列高精度程控旋涂儀（Spin Coater），其*高轉(zhuǎn)速可達(dá)10000rpm，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)50000rpm/s（有負(fù)載條件下的真實加速度）。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、*的加速度、主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。
二. 產(chǎn)品特點
1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計的精密高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)50000rpm/s（有負(fù)載的真實加速度）。
3. 兩項安全互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成 人身傷害；
(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行。
4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進(jìn)行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序，隨時調(diào)用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制，無需手動操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時間”*多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
11. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。
三. 技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號 技術(shù)參數(shù) | SYSC-300A | SYSC-300B | SYSC-300C |
可鍍膜基片尺寸 | ?10～300mm | ?10～300mm | ?10～300mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 10～6000rpm | 10～8000rpm | 10～10000rpm |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | 1rpm | 1rpm |
速度精度性 | ＜0.02% | ＜0.02% | ＜0.02% |
旋涂加速度* | 0～30000rpm/s | 0～40000rpm/s | 0～50000rpm/s |
每段加速時間 | 999.9s | 999.9s | 999.9s |
每段旋涂時間 | 9999.9s | 9999.9s | 9999.9s |
時間分辨率 | 0.1s | 0.1s | 0.1s |
預(yù)吸片時間 | 99s | 99s | 99s |
解吸片時間 | 99s | 99s | 99s |
* *大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?100mm基片)的真實加速度
