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    • 1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

    1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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    • 型號
    • 品牌
    • 所在地
    • 更新時間2025-04-08
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 所在地區(qū)天津市
    • 實名認證已認證
    • 產(chǎn)品數(shù)量75
    • 人氣值4450
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    產(chǎn)品應(yīng)用:PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
    1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

       

     

    產(chǎn)品應(yīng)用:

    PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

    產(chǎn)品組成:

    PECVD系統(tǒng)配置:

    1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

    2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。

    3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

    4.等離子射頻電源

    5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

    6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

    產(chǎn)品特點:

    生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。

    關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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