FC-R7700CD質量流量控制器采用橡膠密封材質，適用于常規無腐蝕性氣體范圍、產品具有高精度、高速應答、重復性好等特點，具有很高的性價比。
FC-R7700CD質量流量控制器廣泛使用在半導體液晶產業用真空裝置數據存儲裝置工業鍍膜實驗室儀器大氣環境監測等行業，在CVD、PVD、離子擴散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并*。
技術特點：
◆低成本
FC-R7700CD質量流量控制器針對非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、保證了產品高性能同時，具有很好性價比。
◆替換方便
FC-R7700CD質量流量控制器采用業界通用的通信方式，很容易對其他廠家的產品進行替換，從而實現提高性能和穩定性的目的。
◆高信賴和可靠性
FC-R7700CD質量流量控制器優秀的統性前世上有大約在行中的產品其年目界4萬只運中的產品，其一年內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽
技術參數：
性能指標 FC-R7700CD/FC-R7700D系列 FC-R7710CD/FC-R7710D系列 FC-R7720CD/FC-R7720D系列 滿量程范圍 10Sccm-5Slm N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** 35-200Slm 響應時間 滿流量的±2%范圍內,小于2秒 滿流量的±2%范圍內,小于3秒 精度 ≤±1%滿量程 ≤±2%滿量程 線性鍍 ≤滿量程±0 5% ≤滿量程±0 5% ＃1 ≤滿量程±1% 重復性 ≤滿量程±0.2% 泄漏率 1X10E-7 Pa.m 3/sec 控制范圍 滿流量的2%-5% #2 壓差 49Kpa-275Kpa 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa 147Kpa-275Kpa 正常工作壓 力 490Kpa 進氣壓力 980Kpa 溫度范圍 5-45℃(41-113℉) 輸入電源 +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA 功率 3.1W max 3.5W max 輸入信號 0-5 VDC 輸出型號 0-5 VDC 控制閥形式 常開或常閉電磁閥 密封件 氟橡膠 材質 316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠） 標準接口 1/4"VCR和Swagelok兼容 3/8"VCR,1/4"VCR 重量 1.0KG 2.7KG
＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為195-296Kpa
