光刻膠300度class100無(wú)塵烘箱 SECSGEM烘箱
工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動(dòng)/停止烘箱；
2.> 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過(guò)程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
光刻膠300度class100無(wú)塵烘箱 SECSGEM烘箱
工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動(dòng)/停止烘箱；
2.> 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過(guò)程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
3.> 系統(tǒng)控制開(kāi)/關(guān)門等動(dòng)作；
4.> 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮?dú)獠蛔?，含氧量超?biāo)、門未關(guān)到位；
5.> 實(shí)施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息
智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃
均勻度：±1.5%
潔凈等級(jí)：Class10 Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控，500℃~300℃約3~5℃/min,300℃~120℃約1~3℃/min,120℃~65℃約0.5~1℃/min
控制系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)介紹
控制系統(tǒng) | 工控電腦+歐姆龍PLC | |
權(quán)限 | 給每個(gè)管理者、工程師、操作員獨(dú)立用戶名和密碼； | |
給每個(gè)操作者，自定義分配權(quán)限（如：?jiǎn)?dòng)，停止，調(diào)取工藝，調(diào)試，查看報(bào)表……） | ||
記錄當(dāng)前操作者的所有操作記錄； | ||
控制方式切換 | 本地模式 | 由操作者，創(chuàng)建工藝、選擇工藝、執(zhí)行； |
遠(yuǎn)程模式 | 客戶系統(tǒng)發(fā)送運(yùn)行工藝指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系統(tǒng)，可溝通開(kāi)發(fā)) | |
數(shù)據(jù)信息(數(shù)據(jù)信息可以存10年以上！) | 運(yùn)行工藝信息記錄 | |
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄（如：溫度、時(shí)間、含氧量、氣體流量、壓力……） | ||
事件記錄（開(kāi)/關(guān)門事件、運(yùn)行/停止事件、報(bào)警事件、故障事件） | ||
通訊記錄（與客戶系統(tǒng)通訊記錄） | ||
操作記錄（操作者操作記錄，如：登錄，注銷，故障處理……） | ||
故障信息顯示 | 通訊故障 | |
加熱斷線 | ||
循環(huán)風(fēng)機(jī)故障 | ||
氣體管路故障 | ||
異常處理 | 上偏差報(bào)警、下偏差報(bào)警、上偏差報(bào)警停機(jī)、上限報(bào)警、上限報(bào)警停機(jī)；（控制點(diǎn)和采樣點(diǎn)） | |
光刻膠300度class100無(wú)塵烘箱 SECSGEM烘箱
