、高精度表面粗糙度測(cè)試儀器原理：
高精度表面粗糙度測(cè)試儀器由二部分組成：
1- 1.采樣部分
這是機(jī)電一體化儀器中的精密部份。它分成：
A.驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)_用PC 送出控制訊號(hào)操縱精密伺服馬達(dá)帶動(dòng)傳感器在工件上作直線掃描。
測(cè)量長度則根據(jù)不同截止波長，由使用者根據(jù)工件及標(biāo)準(zhǔn)確定。
B.精密傳感器_本機(jī)采用差動(dòng)式電感傳感器 。
C.立柱_自動(dòng)升降，精密定位在傳感器測(cè)量零位上.
一、高精度表面粗糙度測(cè)試儀器原理：
高精度表面粗糙度測(cè)試儀器由二部分組成：
1- 1.采樣部分
這是機(jī)電一體化儀器中的精密部份。它分成：
A.驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)_用PC 送出控制訊號(hào)操縱精密伺服馬達(dá)帶動(dòng)傳感器在工件上作直線掃描。
測(cè)量長度則根據(jù)不同截止波長，由使用者根據(jù)工件及標(biāo)準(zhǔn)確定。
B.精密傳感器_本機(jī)采用差動(dòng)式電感傳感器 。
C.立柱_自動(dòng)升降，精密定位在傳感器測(cè)量零位上.
D.探針_在被測(cè)工件上掃描由工件表面輪廓不 平而形成上下位移，使傳感器中磁回路間隙改變導(dǎo)致電感變化，形成微弱訊號(hào)。
1-2.信號(hào)轉(zhuǎn)換
傳感器輸出的微弱訊號(hào)經(jīng)放大、鑒相后，經(jīng)過低通濾器及根據(jù)高斯濾波器特性而設(shè)計(jì)的長波段濾波網(wǎng)絡(luò)，輸出模擬訊號(hào)分成二路。R參數(shù)；輪廓參數(shù)分別由USB數(shù)據(jù)采樣卡內(nèi)的16位A/D轉(zhuǎn)換處理，形成數(shù)字信息，經(jīng)USB輸至PC運(yùn)算處理，顯示打印。
二、技術(shù)參數(shù)：
主要技術(shù)指標(biāo) | 按JJF1105-2003高精度表面粗糙度測(cè)試儀器校準(zhǔn)規(guī)范 |
測(cè)量參數(shù) | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2…… |
大測(cè)量長度 | 25mm;50mm |
直線度測(cè)量精度 | 0.4μm |
濾波器 | 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器 |
截止波長 | 0.25，0.8，2.5 |
測(cè)量重復(fù)性 | 3% |
相對(duì)示值誤差 | ±5% |
示值穩(wěn)定性 | 3% |
測(cè)量長度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
測(cè)量范圍 | 640μm |
分辨率 | 0.001μm |
測(cè)量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
返回速度（自動(dòng)） | 1mm/s |
傳感器針尖 | R=2μm鉆石（測(cè)量力1mN）；R=5μm鉆石(測(cè)量力4mN） |
三、高精度表面粗糙度測(cè)試儀器操作系統(tǒng)
Profile軟件必須在Windows XP平臺(tái)下工作
2-1系統(tǒng)功能
高精度表面粗糙度測(cè)試儀器本系統(tǒng)可以根據(jù)不同的傳感器分別提供兩種測(cè)量類型：
2-1-1粗糙度
可選擇三種不同截止波長及掃描長度見下表：
*截止波長(可選) | 測(cè)量速度 (根據(jù)截止波長定) | *掃描長度(可選)
| |||||
0.25mm | 0.1mm/S | 1.0 mm | 1.25mm | 1.5 mm | 1.75mm | ||
0.8 mm | 0.32mm/S | 3.2 mm | 4.0 mm | 4.8 mm | 5.6 mm | ||
2.5 mm | 0.5mm/S | 10.0mm | 12.5mm | 15.0mm | 17.5 mm | ||
測(cè)量系統(tǒng)可提供下列粗糙度數(shù)據(jù)：
Ra, Rz, Rmax, Rt, Rp, Rpm, Rz(jis), Rv, R3z, Rs, Rsm, Rsk, R, Rk, Rpk,Rvk,Mr1,Mr2, Rmr曲線及內(nèi)燃機(jī)曲線。
*2-1-2、輪廓(需配輪廓傳感器)
* 測(cè)量范圍：(視不同輪廓傳感器)
0--1000μm ，0—2000μm
掃描長度：1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 5.0mm, 6.0mm, 7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 15.0mm
＊*根據(jù)用戶特殊要求，特提供圓弧面上測(cè)量粗糙度檔“曲面”，但其數(shù)據(jù)目前階段，除了采用平面樣板校正之外，，因無更妥當(dāng)辦法驗(yàn)證，只能僅供參考。
曲面粗糙度:從0.08檔至0.8mm
掃描長度從:0.5mm-4.8mm
線性范圍: 寬達(dá)0-800μm。
2-2系統(tǒng)運(yùn)行的軟、硬件環(huán)境
系統(tǒng)要求低系統(tǒng)配置：主機(jī)Pentium II或 賽楊系列（CPU主頻≥700）
128M RAM, WINDOWS XP中文版
2-3計(jì)算機(jī)軟、硬件的安裝
2-3-1.安裝Profile軟件前必須先安裝加密鎖。
高精度表面粗糙度測(cè)試儀器加密鎖安裝方法如下：首先把本機(jī)加密鎖插入U(xiǎn)SB接口中。
2-3-2.在C盤(并不限于C盤)的根目錄下建立JB6C目錄。
