日本小島KOFLOC質量流量控制器
日本小島KOFLOC*氣體質量流量控制器3660系列
日本小島KOFLOC質量流量控制器
產品特色：
通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現快速回應。
通用的常閉型閥門確保了安全
使用電磁執行器保證了高效的可靠性
低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）
另有針對PM2.5設備特制品：流量16.7L/MIN，低壓差15Kpa既可，*，高性價比
技術參數：
流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)
30SLPM-100SLPM(3665系列)
氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)
傳感器類型：熱式傳感器
閥門類型：電磁比例閥，常閉
控制范圍：2%-(3660系列)
5%-(3665系列)
控制速度：2%-,2秒以內
控制精度：±1.0%FS(3660系列)
±1.5%FS(3665系列)
重復性：±0.5%FS
工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa
5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa
低差壓特制：2-149Kpa，根據具體流量來定制
高差壓特制：294-784Kpa，根據具體流量來定制
使用溫度：0-50℃
允許濕度：0-90%
泄漏率：≤1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）
產品材質：主體-SUS316
密封圈：Viton
可另選：氯丁橡膠，橡膠NBR
管路接頭：1/4英寸卡套(3660系列)
3/8英寸卡套(3665系列)
可另選：1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制
電氣接頭：D型9針
輸入信號：0-5V(模擬信號)
輸出信號：0-5V(模擬信號)
供應電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
產品重量：800g(3660系列)、1000G(3665系列.
電氣D型9針連線示意圖：
1號針：閥門開關信號(可不接)
2號針：輸出信號0-5V
3號針：電源+15VDC
4號針：電源COM
5號針：電源-15VDC(
6號針：輸入信號0-5V
7號針：輸出信號COM
8號針：輸入信號COM
9號針：閥門電壓輸出
日本小島KOFLOC質量流量控制器
