VGT-15204FST硅片晶圓超聲波清洗機
產品特點：
1、械手或多機械手組合，實現工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操
VGT-15204FST硅片晶圓超聲波清洗機
VGT-15204FST硅片晶圓超聲波清洗機
型號：VGT-15204FST
產品特點：
1、械手或多機械手組合，實現工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。
3、自動上下料臺，準確上卸工件。
4、凈化烘干槽，*的烘干前處理技術，工作干燥無水漬。
5、全封閉外殼與抽風系統，確保良好工作環境。
6、具備拋動清洗功能，保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。
8、全封閉外殼與抽風系統，確保良好工作環境。
應用范圍：
1、爐前清洗：擴散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質及光膠殘渣。
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。
8、擴散預淀積后清洗：除去預淀積時的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污
技術參數：
超聲波功率：10.2KW
超聲波頻率：28,40,60KHZ
換能器數量：204個
電源電壓：220V
技術優勢：
硅片晶圓生產清洗工藝中，使用超聲波清洗機有效去除硅片晶圓表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。清洗硅片晶圓同時也采用了： 三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業；第三代zui xin技術，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落 ；*的硅片干燥前處理技術，保證硅片干燥不liu ren何水痕 ；成熟的硅片干燥工藝，多種*技術集于一身 。
