MCT系列換流型氣體質量流量控制器

利用成比例流量控制功能完成換流

在多向氣體質量流量控制器中，可以減少庫存并清理工作場所。位于上游的兩個閥門允許切換氣源。位于下游的兩個閥門允許在單個氣源上運行兩個獨立的過程系統。我們將根據您的應用參數，為您定制閥門和PID功能，確保實現各個方向的快速、溫度控制。

• 多功能。將單個氣源用于兩個獨立的過程系統或者在單個過程系統中實現兩個獨立氣源的切換。切換氣源時，選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
• 耐用。MCT系列換流型氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構建IP66等級防護。

更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCT系列）或130種（MCTS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• MCT系列換流型氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件