BASIS系列OEM氣體質量流量控制器

OEM應用中的基礎流量控制

對于大數額訂單，能為用戶提供可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為原始設備制造商（OEM）無應力設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特*的快速閥門控制。

• 可靠。絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復性使其在工作第700天時仍像天一樣。
• 靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。具有業內的控制速度和閥門調節，能帶給用戶的益處將遠遠超出預期。
• 兼容。BASIS系列OEM氣體質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數字雙重通訊將為您的項目設計提供更大的靈活性。

更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號
• Applications

性能

• 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
• 可重復性：0.5%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
• 預熱時間：70ms，達到完整精度

工作條件

• 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
• 工作溫度：0°C至+50°C
• 大內部壓力（靜態）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

包裝清單

• BASIS系列OEM氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 通訊線纜
• Flow Vision軟件