DN200智能熱式氣體質量流量計概述：
氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
DN200智能熱式氣體質量流量計
應用場合：
■公用工程---電﹑氣﹑ 水處理的監控
管道的氣體；通用系統；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐預熱空氣
■石油與天然氣工業
能量交換；填井氣回收； 燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣測試；天然氣測量；火炬氣的監控
■電力行業
燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量；燃氣爐中氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量
■化學行業
煙氣循環監測；采樣系統中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量 ；電池工廠各種氣體流量測量
■冶金行業
鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制
■紙漿與造紙行業
廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量
■食品及醫藥行業
加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠中的二氧化碳處理；瓶子消毒器中的熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測量；通風系統；鍋爐進氣﹑廢氣﹑過程控制
■環保
沼氣利用過程中的氣體測量；處理過程中氣體測量；污水處理過程中曝氣池的氣體測量；煙筒煙道排氣監測SO2和NOX的排量
■其他行業
工廠壓縮空氣測量；煤粉燃燒過程粉/氣配比控制燃料；水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制
的工作原理：
uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。
