中溫箱式氣氛爐雙溫區管式爐,三溫區管式爐,五溫區管式爐等)還可以按照真空度分為高,低真空管式爐其它的也可按用途也:比如快速退火管式爐,CVD管式爐,PECVD管式爐等。按照加熱部結構分。不銹鋼管管式爐和剛玉管管式爐。按照控溫區域可以飛為單溫區管式爐和多溫區管式爐(比如有開啟式管式爐和一體式管式爐。
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中溫箱式氣氛爐
電氣部分采用與爐體一體化結構,整個電氣元件安裝在爐體底部的一側,結構緊湊、占用空間小。溫控安裝在爐體側面板上,觀察直觀,調節方便,溫控儀具有PID調節功能,可自動跟蹤設定PID值,可任意設定測量分度密碼,同時具備補償功能,可使爐膛溫度與顯示值*,控溫方式:采用德國西門子技術,具有軟啟動、軟關斷、可控硅移相調壓控制,0~98%輸出可調節,面板上各種儀表開關等有相應的中文標牌。
爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑,爐膛內上下用碳化硅棚板,爐內溫度是加熱元件在加熱過程中經過碳化硅棚板傳導(暗火加熱),溫度更均勻。爐殼密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設有循環水冷套以降低密封處的溫度。進氣設爐膛底部,經加熱腔預熱后分多處進入爐內,排氣經爐頂后部排出。保證爐內氣氛均勻,減小爐內溫差。氣路上裝有氣體流量計,用于正常使用控制氣氛流量。