NanoCalc 反射膜厚測量系統
薄膜的光學特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm -250um的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，在1秒鐘內可以分析單層或多達到10層的膜厚。
NanoCalc 反射膜厚測量系統薄膜的光學特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm -250um的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，在1秒鐘內可以分析單層或多達到10層的膜厚。
產品特點NanoCalc 反射膜厚測量系統
- 可分析單層或多層薄膜；
- 分辨率達0.1nm；
- 適合于在線監測；
使用原理
常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理，通過測量寬光譜范圍內的反射率曲線來進行膜厚測量。
查找n和k值 可以進行多達十層的薄膜測量，薄膜和基體材質可以是金屬、電介質、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數材料的n和k值數據庫，用戶也可以自己添加和編輯。 應用 NanoCalc薄膜反射材料系統適合于在線膜厚測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質上的抗反射涂層、抗磨涂層等。 可調諧低通濾光片（Tunable Short Pass Filter)：低通濾光片的角度調諧可以改變截止波長。可以改變的透過范圍是截至波長的12%。 寬譜截止帶通濾光片(Full Spectrum Blocking Filter)：濾光片具備了超寬光譜范圍的深度截止，截止能力可達OD6. |
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