BPG402-S 皮拉尼復合真空計-氣壓計

INFICON Bayard-Alpert Pirani 復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和 Pirani 兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5 X 10 -10 mbar至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)。 多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。 為負擔

不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 皮拉尼復合真空計BPG402-S，以經濟高效的方式執行基本壓力測量。 傳感元件帶有板載校準數據，保證更換傳感器時的高再現性。

INFICON Bayard-Alpert Pirani

*從 5 x 10 -10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10 -10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

• 10 -8 - 10 -2 mbar 過程壓力范圍內低至 5% 的優良的可重復性。

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• Pirani 聯鎖保護絲極，防止過早燒毀

• 雙長使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

• 高真空Pirani 自動調節，減少操作員的干預

• 傳感元件帶有板載校準數據，易于更換，可保證高再現性

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

• 工業鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

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