七星質量流量控制器氣體質量流量控制器(MFC)和氣體質量流量計(MFM用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。
CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星流量控制器生產的數字型產品,為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產品可同時支持數字信號,0~5V 模擬信號,4~20mA 或 0~20mA 模擬信號,可以使用雙電源(±8~±16 VDC )或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動故障報警,多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件Digital MFC。CS200-C 與CS200-D 產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標準的要求