高純氣露點變送器Pura
在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C （相當于不到 1 ppbV）。
高純氣露點變送器Pura在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
高純氣露點變送器Pura是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。
亮點
- 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
- 測量穩定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
傳感器 傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器 量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C壓力 低 10-9 torr; 大 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣 電源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 大電流 25 mA 輸出 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)輸出出錯狀態 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
