等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；
等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99
等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99等離子處理設備GH-100D 彈夾式
電源需求AC380V，50/60Hz，三相五線 4KW
場地需求設備占地960*1030，需要預留操作空間，建議2000*2000以上
壓縮空氣要求0.5～0.8MPa，干燥
真空泵排風≥1立方/分鐘，*尾氣處理管道即可、直徑50MM
系統環境溫度要求≤30℃
工藝氣體要求0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；H2=99
