INFICON SKY CDG045D 壓力計是實現高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有的信號穩定性和可重復性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。INFICON SKY CDG045D 壓力計
- 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
- 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
- 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
- 診斷端口便于快速服務與維護
- 兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩定性和可重復性，即使是嚴苛的等離子應用，都無需*執行重新校準
- 合規性和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
- 化學和腐蝕性真空過程
- 一般薄膜和真空過程
- 作為基準儀器監控測試儀器是否符合標準
- 符合傳遞標準，確保測量可追溯性
- 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
- 化學和腐蝕性真空過程
- 一般薄膜和真空過程
- 作為基準儀器監控測試儀器是否符合標準
- 符合傳遞標準，確保測量可追溯性
