整閥低泄漏熱式氣體質量流量控制器簡要描述：用于對中大流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有精度高，穩定性好，模擬電路，可靠性高，安裝簡單，操作方便。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
整閥低泄漏熱式氣體質量流量控制器產品特點：
精度高、穩定性好、模擬電路、響應速度快
整閥低泄漏熱式氣體質量流量控制器產品用途：廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
整閥低泄漏熱式氣體質量流量控制器技術參數：
產品型號 LF420-BC LF420-BM
滿量程范圍 SLM 30～40，50，100，150，200, 300
量程比 控制器50:1 流量計100:1
精度 ±2.0%F.S
線性 ±0.5%F.S
重復性 ±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應時間 ≤1S-3S
工作壓差 0.1...0.5Mpa
大耐壓 3MPa
工作環境溫度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信號 0-5V / 4-20MA
供電方式 24VDC（250mA）
密封材料 丁晴橡膠 氟橡膠
接頭尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭 DB9針
熱式氣體質量流量計即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），它是氣體流量計量中新型儀表，區別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。
