擴散硅壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領域對壓力進行測量，與壓力調節儀配套使用可實現壓力自動控制。
原理
擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。
擴散硅傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
特點
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環節，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片大位移在亞微米數量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環，性能穩定，可靠性高。
5、由于硅的優良化學防腐性能，即使是非隔離型的壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。
6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。
性能參數
測量介質：與316L不銹鋼兼容的各種液體、氣體或蒸汽量程范圍：-100 kPa～0～2kPa…60MPa
壓力方式：表壓、絕壓、密封壓
恒壓供電：*10VDC，大15VDC
恒流供電：*1.5mA，大4mA
橋路電阻：4000Ω(典型值)
綜合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可選
溫度漂移：0.02%FS/℃
時間漂移：≤0.2%FS/年
補償溫度：0～80℃
介質溫度：-40～125℃
環境溫度：-40～85℃。
