顯示器用吸塵器 USG-401S,HUGLE藤宮
說明：
希爾文電子提供的有機EL顯示器用吸塵器，可以除去在密封艙內的氮環境下有機蒸的玻璃表面的異物。
已經在多個有機EL封止（ECAPSBATION）工程中使用了很高的評價。
規格：
在氮環境下實現了在液晶制造線中具有實績的干洗技術。為您提供一個新設計的布盧瓦/過濾器單元和溫度控制系統，以維持在昌巴內的氮環境的狀態下進行清潔處理。
顯示器用吸塵器 USG-401S,HUGLE藤宮
顯示器用吸塵器 USG-401S,HUGLE藤宮
USG-401S（N2）,有機（OLED）用吸塵器,HUGLE藤宮
說明：
希爾文電子提供的有機EL顯示器用吸塵器，可以除去在密封艙內的氮環境下有機蒸的玻璃表面的異物。
已經在多個有機EL封止（ECAPSBATION）工程中使用了很高的評價。
規格：
在氮環境下實現了在液晶制造線中具有實績的干洗技術。為您提供一個新設計的布盧瓦/過濾器單元和溫度控制系統，以維持在昌巴內的氮環境的狀態下進行清潔處理。
USG-402S,基板用雙面清潔器(節能型),HUGLE藤宮
說明：
是從小型基板到第10代液晶玻璃的對應的非接觸式雙面干爽器。在平面面板顯示器（液晶，有機EL，等離子）的陣列和單元格行程中附著的分區，可以在表里同時清洗。適合用心儀傳送的FPD、OLED、太陽光發電面板的雙面清洗。
介紹：
在大型顯示器的需求擴大期，面板制造廠正在推進由母玻璃的大型化提高生產性。本公司利用今天為止培養的干洗技術，為今后的大型面板的生產性的提高做出貢獻。（G12對應機開發中）
可消除的1.6μm的微粒
規格：
実験裝置 | 弊社內クリーンルーム（クラス100）內搬送裝置 |
除塵対象 | 液晶用ガラス基板（370×470×0.7mm Ｃｒ膜） |
散布粒子 | 液晶用スペーサー（ミクロパール1.6?3?5?10μm）、ガラス粉塵 |
ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
基板ギャップ | 1.5mm |
搬送速度 | 100?200?300mm/sec |
評価機器 | CCDカメラ |
