高精度電容測微儀傳感器是利用電容原理測量工件尺寸微小變化的儀器。應(yīng)用學(xué)科：機械工程（一級學(xué)科），量具與量儀（二級學(xué)科），量儀（三級學(xué)科）
高精度電容測微儀傳感器應(yīng)用
1、旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉(zhuǎn)精度；
2、往復(fù)機構(gòu)的運動特性和重復(fù)定位精度；
3、正弦波激振和脈激振中振動測量；
4、機器零部件相對振動相對變形；
5、盤類零件的端面振擺；
6、軸承.活塞間隙和油膜厚度；
7、檢測零部件尺寸和平直度；
8、線切割機床電極絲的振動；
9、機床主軸熱位移與動態(tài)加載試驗測量；
10、檢測金屬板、帶的厚度
11、也可用于金屬導(dǎo)體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動、位移測量
特點：
①結(jié)構(gòu)簡單；
②動作時需要能量低，由于帶電極板間靜電吸引力很小，因此電容傳感器特別適宜用來解決輸入能量低的測量問題；
③動態(tài)特性好，電容傳感器的相對變化量只受線性和其它實際條件的限制，如果使用高線性電路時，電容變化量可達或更大；
④自然效應(yīng)小；
⑤動態(tài)響應(yīng)快以及能在惡劣的環(huán)境下工作。但由于電容傳感器的初始電容較小，受引線電容、寄生電容的干擾影響較大；另一方面電容傳感器輸出特性為非線性。
主要性能指標(biāo)
1、直接顯示被測靜態(tài)位移值和振動位移幅值
2、量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
3、測量頻率范圍：0—10KHZ
4、線性度：0.5%FSO
5、輸出信號：0—±5.100V 0—20mA
6、噪聲: < 3mV
6、漂移：0.1%FSO/h
7、工作溫度：放大器－10℃－+80℃ 傳感器探頭－20℃－+200℃
8、電源：~220V50Hz
9、體積：258mm×300mm×102mm
10、量程、初始間隙δ0與傳感器電極直徑d0 表1
| 量程（μm） | ±3.000 | ±30.00 | ±300.0 |
| δ0（mm） | 0.03 | 0.3 | 3 |
| d0（mm） | Φ1.35 | Φ3.1 | Φ9.0 |
