一維（X軸）壓電平移臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點，采用硅位移傳感器，相比于傳統的電容式位移傳感器，硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。
一維（X軸）壓電平移臺選型：
產品型號 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力（N） | 16 | ||
zui大速度（mm/s） | 200 | ||
zui小步長（nm） | 50 | ||
光柵分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復定位精度（um） | <2um | ||
zui大負載（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
結構材質 | 鋁合金/不銹鋼 | ||
u 產品特點
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振頻率可達7000Hz
l 采用硅傳感技術
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導向
u 主要應用
l 納米刻蝕
l 干涉測量
l 高速聚焦
l 自適應光學
l 超分辨顯微鏡
l 粒子追蹤
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內技術空白，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。
