芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu)P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可＜1nm，這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。
芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu)P84系列壓電驅(qū)動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm，測微頭的分辨率是10μm，整體結(jié)構(gòu)可以對元件進行大行程、高精度定位。
技術(shù)參數(shù)
型號 | P84.X100S P84.X100K | P83.X25S P83.X25K | 單位 |
運動自由度 | X | X |
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傳感器類型 | SGS | SGS |
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標(biāo)稱行程范圍 （0 ~+120 V） | 80 | 20 | µm±20% |
zui大行程范圍 （-20 ~+150 V） | 110 | 28 | µm±20% |
測微頭行程 | 13 | 13 | mm |
分辨率 | 7，2.5 | 1.5，0.5 | nm |
測微頭分辨率 | 10 | 10 | um |
閉環(huán)線性度 | 0.15 | 0.2 | %F.S. |
重復(fù)定位精度 | 0.05 | 0.1 | %F.S. |
推/拉力 | 16，4 | 20，5 | N |
剛度 | 1 | 2 | N/mm±20% |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% |
材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼 |
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重量 | 0.1 | 0.1 | Kg±5% |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
