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    chiller(半導體溫控機)

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    • 型號
    • 品牌
    • 所在地北京市
    • 更新時間2016-12-26
    • 廠商性質生產廠家
    • 所在地區北京市
    • 實名認證已認證
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    chiller(半導體溫控機)在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,顯著地提高了chiller的穩定性、控制精度和響應速度
    chiller(半導體溫控機) 產品詳情

    chiller(半導體溫控機)產品概述:

    chiller主要用于半導體制程中對反映腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置。北京自動化技術研究院在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,顯著地提高了chiller的穩定性、控制精度和響應速度

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