各種結構型式的加速度傳感器應用
2020-11-13標簽:加速度傳感器
各種結構型式的加速度傳感器應用:
下面來了解下這四種加速度傳感器在振動、沖擊測量中的應用。
壓電式加速度傳感器
壓電式加速度傳感器是一種自發式傳感器,其輸出電荷與所感受的加速度成正比。它具有精確度高、頻響寬、動態范圍大、尺寸小、重量輕、壽命長、易于安裝、穩定性好等特點。可以采用天然石英,經過適當切割構成敏感元件,但靈敏度低,造價高。目前常用的是鐵電材料,這是一種經過人工極化處理而具有壓電性質的人工陶瓷,采用良好的配制燒結工藝可以得到很高的壓電靈敏度和工作溫度,經過老化處理后可以保證長期溫度穩定性,它易于制成各種形狀的敏感元件,已先后制成了各種結構形式的加速度傳感器。
集成電路式壓電加速度傳感器
集成電路式壓電加速度傳感器的制成是微電子學技術的發展結果,在這種傳感器的殼體內裝有微電子信號適調電路,因此做到了低阻抗輸出,輸出信號大,對電纜和接頭帶來的干擾信號很不敏感,對各種環境因素不敏感,用一根雙線電纜或兩根塑料皮絞合線可同時起到供電和傳輸信號的作用,使用長電纜也不會降低靈敏度,不會增加噪聲,結構簡單,造價低,且改善了性能,特別適用于各種工程現場和需要遠距離測量的地方,對靈敏度高的甚至可以直接接記錄儀器,使用方便。Endevco稱這種傳感器為ISOTRON,下圖為等效電路圖。
壓阻式加速度傳感器
新式的壓阻式加速度傳感器的結構,它是由整塊硅晶體制成的。它以硅壓阻應變片作為敏感元件,這實際上是一塊固定的硅電阻,其電阻的變化與所承受的機械應力成正比。這可以由體積很小的整體硅片經過微細加工制成,因此又稱為整體式傳感器,從而避開了把硅應變片粘貼到懸梁臂上的老式結構所帶來的機械連接不準確的影響。壓阻式加速度傳感器在電路中構成為惠斯登電橋,產生與振動加速度成正比的電信號。由于是配對使用,所以保證了在不同的溫度條件下輸出的穩定性。
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