高溫壓力傳感器的選型及發展方向

　　高溫壓力傳感器是工業實踐中最為常用的一種壓力變送器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾多行業。

 

　　高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起，形成具有一定穩定性的硅膜片電容壓力傳感器。

 

　　高溫壓力傳感器工作原理

 

　　高溫壓力傳感器的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

 

　　高溫壓力傳感器產品應用

 

　　高溫壓力傳感器廣泛應用于各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾多行業。

 

　　高溫壓力傳感器產品選型

 

　　1、測量的是何種壓力。

 

　　2、所測量的介質。在選擇高溫熔體壓力傳感器時需要考慮的關鍵因素是所測量的介質。

 

　　3、需要達到什么樣的精度。

 

　　4、此高溫壓力傳感器的耐溫性、互換性、時間穩定性和堅固程度。

 

　　5、此高溫壓力傳感器使用何種輸出，需要的激勵電壓，以及怎樣將傳感器連接到自己的電氣系統中。

 

　　高溫壓力傳感器發展方向

 

　　1、向高精度發展

 

　　2、向高可靠性、寬溫度范圍發展

 

　　3、向微型化發展

 

　　4、向微功耗及無源化發展

 

　　5、向智能化數字化發展