壓力傳感器的原理和優(yōu)缺點介紹
2022-06-10標(biāo)簽：壓力傳感器
新型玻璃微熔壓力傳感器，采用美國加州理工大學(xué)專利的新型玻璃微熔技術(shù)，將17-4PH低碳鋼通過高溫玻璃粉將硅應(yīng)變汁燒結(jié)在腔體的背面，腔體由17-4PH不銹鋼整體車出來，適應(yīng)高壓力過載，能有效抵御瞬間壓力沖擊。無充油、無隔離膜片，可測帶有少量雜質(zhì)的流體介質(zhì)；不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，無“O”型密封圈，絕無泄漏隱患。高壓型可測600MPa（6000bar），產(chǎn)品高精度型可做到0.075%。
小量程測量難度較大，一般測量范圍在100kPa以上，因此可在所有量程在100kPa以上、已使用擴散硅壓力傳感器場所替代傳統(tǒng)擴散硅壓力傳感器，在要求高壓、高精度測量場所的優(yōu)勢更加明顯。
基于MEMS（微機電）技術(shù)的壓力傳感器，它是建立在微米/納米基礎(chǔ)上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋（Wheatstonebridge）組成的硅應(yīng)變計，具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復(fù)性好等優(yōu)點。先進(jìn)的工藝經(jīng)500℃以上高溫熔化玻璃，將硅應(yīng)變片燒結(jié)在17－4PH不銹鋼傳感彈性體上，彈性體受壓變形后產(chǎn)生電信號，由帶微處理器的數(shù)字補償放大電路進(jìn)行放大，經(jīng)數(shù)字軟件進(jìn)行全智能溫度補償，輸出標(biāo)準(zhǔn)信號。
在標(biāo)準(zhǔn)凈化生產(chǎn)過程中，參數(shù)嚴(yán)格受控，避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點，保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長期穩(wěn)定性。智能數(shù)字溫度補償電路將溫度變化劃分為若干小區(qū)間，每一個小區(qū)間的零位和補償值都被分別寫入補償電路中，在使用中，這些值被寫入受溫度影響的模擬量輸出路徑中，每一個溫度點都是該變送器的“校準(zhǔn)溫度”。
壓力傳感器數(shù)字電路針對射頻、電磁干擾、浪涌電壓的工況進(jìn)行精心設(shè)計，具有抗干擾能力強，供電范圍寬、極性保護等特點。可靠的結(jié)構(gòu)壓力腔體采用進(jìn)口17－4PH不銹鋼整體加工，無“O“型圈、無焊縫，無泄漏隱患。傳感器過載能力為200%FS，破壞壓力為500%FS，適應(yīng)高壓力過載。針對液壓系統(tǒng)可能產(chǎn)生的瞬間壓力突變，傳感器內(nèi)置阻尼保護裝置，能有效抵御瞬間壓力沖擊。
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